製品情報

新素材、半導体、超伝導などの基礎的研究分野での、冷却及び加熱による試料の形態変化現象を、顕微鏡などの各種観察機器で利用できるサーモコントローラ。

半導体パッケージ、ベアチップ、プリント基板、各種素材などの温度変化による熱変形を、レーザー三次元測定機により非接触にて測定。

従来にないRTから1000℃(MAX)までの温度可変範囲でクリーンな表面観察、試料計測が可能な、顕微鏡などの各種観察機器で利用できるサーモコントローラ。

サーモコントローラだけでなく微小電流測定用チャンバ、圧力チャンバなど様々な環境試験用のチャンバを製作。

コンパクトで軽量、高精度のチャンバステージの温度コントローラで、チャンバ内の試料ステージに設置された熱電対を使いヒーターの温度をコントロール。

チャンバケースを常に常温に保ち、火傷および凍傷を防ぐ空冷式水循環装置。