温度コントローラ：MC-1000シリーズ
チャンバステージの温度制御BOXです。チャンバ内の試料ステージに設置された熱電対（温度センサー）を使いヒーターの温度をコントロールします。コンパクトで軽量、高精度の温度コントローラです。（温調器部分に理化工業社製・GZ900もしくはPF900を使用しています。）
特長
- ●1秒間に100回の超高速フィードバック制御により急冷、急過熱のような激しい温度変化においても安定した温度制御が可能です。
- ●複雑なパターンのプログラム設定をパソコン上で視覚的に簡単に設定が可能。膨大な量の設定データのダウンロード、パソコンへのアップデートが可能です。
- ●RS485コネクタ及びアナログ出力を搭載しており様々な機器との通信、機器への出力が可能です。
- ●停電時の自己保持回路の採用や過昇温防止機能を搭載しており安全性にも配慮しております。
液体窒素流量コントローラ：MC-500シリーズ
弊社ではチャンバ内を0℃以下に冷却する際、液体窒素を使用します。液体窒素流量コントローラは液体窒素の流量をコントロールします。温度コントローラ（MC-1000シリーズ）と合わせて使用致します。
特長
- ●瞬時/積算流量表示機能。
- ●マイクロフローセンサは流路の壁面に設置され、流れの抵抗となる構造体が少ないため低圧力損失を特徴としています。
- ●センサが気体に触れて測定するためマスフローメーターはRD(読み値)精度規定を採用しています。
- ●マスフロータイプにはアズビル株式会社製マスフローメーターを採用しています。
チャンバだけでなく温度コントローラもカスタイマイズ可能
