C-705
C-710
半導体パッケージ、ベアチップ、プリント基板、各種素材などの温度変化による熱変形を、-120℃から350℃の範囲でレーザー三次元測定機により、非接触にて測定することを目的としたサーモコントローラです。
| 装置名 | C-705 | C-707 | C-710 | C-715 |
|---|---|---|---|---|
| 測定温度 | －120℃ <−> 350℃ | －100℃ <−> 350℃ | －80℃ <−> 350℃ | －40℃ <−> 350℃ |
| 試料サイズ | 50mm x 50mm | 70mm x 70mm | 100mm x 100mm | 150mm x 150mm |
| 外観寸法 mm (突起物除く) | (W)140×(D)140×(H)55 | (W)160×(D)160×(H)55 | (W)190×(D)190×(H)55 | (W)240×(D)240×(H)55 |
| 試料雰囲気 | 大気/不活性ガス中 | |||
※全てのチャンバの共通仕様として試料厚さ10㎜以内、ワーキングディスタンス15㎜以上となっております。
※全てのチャンバが真空対応への変更やカスタマイズが可能となっております。
※全てのチャンバが真空対応への変更やカスタマイズが可能となっております。
特長
- ●試料ステージは、特殊ヒーターと流量制御された液体窒素により-120℃から350℃までの安定した温度制御が可能です。
- ●空冷式水循環装置により常にチャンバーケースは常温に保たれ加熱時にも火傷などの心配はありません。
- ●材料の熱処理や高精度の加工技術により試料ステージの熱膨張や熱収縮はごくわずかです。
- ●独自のガスカーテン防雲機構により冷却時に観察窓が曇る心配がございません。
- ●冷却時における液体窒素の供給には専用サイフォンやブレードホースを使用することにより高い安全性を実現しております。
- ●プログラム制御にも対応しており、複雑なパターン設定がパソコン上で視覚的に簡単に設定可能です。
構成図
